??展会地点: 云端线上
??展会时间:2022年6月14日-7月12日
? ? 中国国际半导体技术大会(CSTIC 2022)将于6月14日-7月12日在SEMI云端线上举行。近百位世界顶级专家汇聚一堂,共享前沿技术,内容涵盖IC设计、器件与集成、光刻、刻蚀、CMP、封装测试、化合物半导体等。
???北方和记的资深专家们将在分论坛三- Dry & Wet Etch and Cleaning带来先进的刻蚀技术成果。在此,北方和记诚挚邀请您与我们一同交流探讨前沿刻蚀技术,推动产业进步,创造无限可能。
NAURA演讲时间
-Symposium III: Dry & Wet Etch and Cleaning-
Session III:?FEOL/MOL Etching
演讲题目:《Bitline Etch Process Development for 1y nm DRAM Manufacturing》
讲师:姚兴俊?先生
Session III:?FEOL/MOL Etching
演讲题目:《200/150/100mm Compatible, ICP/CCP Etch Total Solutions》
讲师:张轶铭?博士
Session IV: Plasma Source and Wet Etch/Clean
演讲题目:《SADP etch process development using PR core for sub 17nm DRAM》
讲师:徐力田 先生
Session V: BEOL Etching and Memory Etch
演讲题目:《Hard mask etch process development for patterning 60nm magnetic tunnel junction》
讲师:李晓辉 女士
Session VI: Other Etch and Patterning
演讲题目:《Trench Etch for SiC Power Devices》
讲师:谢秋实?先生