HORIC L200 LPCVD系统，主要用于半导体产线8英寸及以下晶圆淀积SiN、POLY、SiO?等薄膜，设备工艺性能好、产能大、可靠性高，可满足半导体领域的多种产线需求。设备包含净化工作台、炉体机箱、气源柜、真空系统及电气控制系统五大部分，相关模块齐全，可根据不同客户需求进行配置。
