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Bpure Series

立式/卧式管舟清洗机

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Bpure Series 立式/卧式管舟清洗机
Bpure Series Vertical/Horizontal Tube/Boat Cleaning System
Bpure系列立式/卧式管舟清洗机广泛应用于集成电路、封装、光伏等领域。采用浸泡式处理工艺,主要用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外,也可以用于清洗其它石英材质的零部件,如石英板、点火炮、保温桶等。
设备特点
  • 全自动清洗,浸泡式清洗与喷淋式清洗工艺可选
  • 一机多用,可兼容石英管/舟/工件清洗
  • 自主研发控制系统,友好的人机交互界面
  • 自动配液系统,换酸便捷
  • 分级安全互锁设置,确保设备安全可靠
产品应用
  • 晶圆尺寸
    8、12 英寸
  • 适用材料
    石英、碳化硅
  • 适用工艺
    石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式清洗
  • 适用领域
    集成电路、功率半导体、化合物半导体、科研领域
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