半导体装备

紫外线固化炉

紫外线固化(UV Curing)是光化学反应,与传统的干燥固化过程原理不同,传统的干燥固化一般借助于涂敷材料中溶剂的挥发而形成硬化,而紫外固化则无溶剂挥发。紫外线固化是辐射固化的一种,是利用紫外线UV在极短时间内产生辐射聚合、辐射交联等光化学反应,迅速将低分子量物质转变成高分子量产物的化学过程,体系中不含溶剂或含极少量溶剂,辐照后液膜几乎100%固化,因而VOC(挥发性有机化合物)排放量很低。自2000年以来,这一新型固化技术在国际上得到飞速发展,其产品在许多行业都得到广泛应用。

北方和记的紫外线固化炉(UV Cure)设备主要用于TFT-LCD 工艺中边框胶的紫外线固化,设备外形紧凑,能对应各世代ODF产线布局,承载Panel的基台能精确平动和转动,UV照射光强、累积光量均匀性好,并能精确闭环控制。

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